三井真空 高真空炉 超高真空技术与现代热工技术的完美结合，实现四大优势漏率低真空度高：采用超高真空制造工艺，保证漏率<1x10-8?Pa.m3/h，极限真空最高可达10-7Pa 。
腔体洁净无油? ：对无油系统，炉内材料均经抛光、清洗、除油、除气处理，保证洁净无油。
均温性优 ? ：传统结构与现代有限元分析软件的结合设计，使炉温均匀性最优能控制在±3℃以内。
环保节能：特殊的屏蔽结构及合理选用真空泵，使能能耗比国内同类产品节能10%以上。

<p style="list-style: none; padding: 0px; color: rgb(102, 102, 102); font-family: frutigernext, Arial, Helvetica, sans-serif, Arial, &quot;Microsoft YaHei&quot;, 宋体; font-size: 14px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; white-space: normal; unicode-bidi: embed; direction: ltr; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="color: black; font-family: 宋体; font-size: 24px;">主抽气泵选择：涡轮分子泵、低温泵、离子泵、扩散泵</span></p><p style="list-style: none; padding: 0px; color: rgb(102, 102, 102); font-family: frutigernext, Arial, Helvetica, sans-serif, Arial, &quot;Microsoft YaHei&quot;, 宋体; font-size: 14px; margin-top: 0px; margin-bottom: 0px; white-space: normal; unicode-bidi: embed; direction: ltr; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="color: black; font-family: 宋体; font-size: 24px;">前级泵选择：罗茨泵、油封式旋片泵、干式泵</span></p>